大力促進我國氣體分離行業的進步與發展,不僅可以滿足國民生產需求,同時對提升我國綜合競爭實力有重大意義,自從1978年我國制氮市場也逐年呈現上升趨勢,氮氣產品量的需求和產品純度的要求都有了進一步的提高。
目前普氮市場的設備可以完全實現國產化,超高純氮氣設備的市場則是由國外控制,國內空分廠家還尚未涉足此領域,這也是氣體分離行業所面臨的一個新挑戰。當前純氮氣主要應用于油田注氮、石油化工、合成纖維、合成氨、浮法玻璃、軋鋼和電子工業等領域。
油田注氮的制氮裝置規模較大,國外已有31萬Nm³/h,氮氣產品純度要求氧氣含量低于10ppm,產品壓力一般在300∽400bar,生產過程允許有短暫中斷,要求有少量液氮儲備;石油化工、合成纖維、合成氨、浮法玻璃、軋鋼等的制氮裝置規模一般是從幾千到幾萬不等,產品純度為要求含氧2∽100ppm,產品壓力一般在1.35∽31bar,有些設備需要有備用液氮,要求保證不間斷的產品供應。
電子工業的制氮氣過濾裝置規模較小,一般是從幾百到幾千,但是產品純度要求較高,通常對氧含量要求低于1ppm,同時對產品中CO和H2的含量有較高要求。產品壓力在3∽10bar,要求產品供應不間斷,有備用液氮。
制氮行業經過了幾十年的蓬勃發展,不管從規模以及產品要求上都上了一個臺階,針對不同規格的產品,目前國內外已經開發出了與其相適應的制氮流程,筆者結合國內外發展情況,對氮氣過濾裝置的流程組織及選擇作一總結。
高純氮節能流程有兩種方案:
第一種方案:高純氮返流全膨脹節能流程:采用全膨脹,多余冷量采取在膨脹機后抽一股低溫氣體與污氮氣混合至-20℃左右,然后去鋁制板翅式換熱器換熱,省去冷水機組。
第二種方案:高純氮正流全膨脹節能流程:采用全膨脹,這樣可以降低空壓機排氣壓力,節省能耗,但是膨脹機的葉輪直徑會增大,投資相應增多。
變壓吸附有兩種方案:
第一種方案:粗制氮氣,純度達到99.99%,精制氮氣,純度達到99.999%,單套可以做到3000Nm³/h左右,可以多套組合,按照需要停或者開,不需要液體產品。
第二種方案:粗制氮氣,純度達到99.99%,精制氮氣,純度達到99.999%,單套可以做到3000Nm³/h左右,可以多套組合,按照需要停或者開,需要液體產品,采取配套外液化過濾裝置,可以自由停車或者開車,優點是節省能耗,缺點是投資大。
超高純氮氣
超高純氮氣主要用于電子工業,在集成電路、芯片(晶片)和相關元器件的生產過程中,超高純氮氣與普通氮氣相比,對以下條件有嚴格要求,目前一般要求總雜質含量集成電路要求:4ppm,芯片要求:1ppm或者更高,同時設計電子工業用高純氮裝置時,要重視裝置所在大氣組成的測定,且設計一定要留有余量。其難點和要點主要是一氧化碳、氫和水分的達標,為此,要采取不同的凈除方法:
(1)CO的凈除:利用壓縮機的壓縮熱,在觸媒的幫助下,通過催化反應,除去一氧化碳,可以使產品中所含CO降低到0.1ppm以下。
(2)CO2的凈除:通過分子篩床層吸附。
(3)氫氣等低沸點組分的凈除:氫氣,氦氖氣都是沸點比氮氣低的組分,在一氧化碳轉化爐中,空氣中的氫氣生成水,然后從冷凝蒸發器排出不凝氣體,放空以使低沸點組分除去,但是其純度仍然不夠,仍需要通過特殊流程組織比如采用加設純氮精餾輔塔,在液氮頂部設置冷凝器,底部設置再沸器,增大循環倍率來除去低沸點的氫氣等雜質。
(4)甲烷等高沸點組分的凈除:甲烷等烴類氣體以及氪氙等稀有氣體的沸點比氮氣高得多,它們會全部濃縮到塔底的富氧液空中,達標沒有問題。
(5)水分的凈除:通過分子篩床層吸附,同時水分有最高的沸點,達到要求沒問題。
(6)顆粒度:通過精密過濾器來滿足。